分析用ガス供給設備

容器による供給設備
需要家に設置した集合装置に圧縮ガス容器を接続し、所定の圧力に減圧して供給します。
需要家に設置した集合装置に液化ガス容器を接続し、蒸発器により気化させ、所定の圧力に減圧して供給します。

液化ガス容器集合供給装置

液化ガス受入設備

貯槽等による受入設備
需要家に設置した貯槽又はガスホルダー等に液化ガス又は圧縮ガスを受入し、処理設備を介して供給します。

ガス発生装置 PSA

需要家におけるガス発生設備
空気圧縮機
ＰＳＡ
深冷分離装置
ガス精製・混合装置

クリーンルーム向け真空ポンプ

クリーンルーム向け空気圧縮機

ガス混合装置