| シリコン（Si）系 | SiH4 Si2H6 SiH2Cl2 SiF4 CH3SiH3 (CH3)3SiH3 |
|---|---|
| ヒ素（As）系 | AsH3 |
| リン（P）系 | PH3 PF3 |
| ホウ素（B）系 | B2H6 BF3 11BF3 BCl3 |
| ゲルマニウム（Ge）系 | GeH4 GeF4 |
| セレン（Se）系 | H2Se |
| タングステン（W）系 | WF6 |
| フッ素（F）系 | CF4 CHF3 CH2F2 C2F6 C3F8 SF6 NF3 |
| 酸窒素（O・N）系 | NO N2O NH3 |
| 混合ガス | SiH4/N2,H2,Ar,He PH3/N2,H2,Ar,He BCl3/N2,Ar,He O2/CF4 他 |
| その他の半導体製造用ガス |
MO・GaN・SiCCVD用（アルシン・ホスフィン・プロパン他） キャリアバランスガス（H2・O2N2・He・Ar） |
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少量の場合、超小型ボンベをご利用ください。
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