㈱アルバック

ドライポンプLR/HRシリーズ
独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD,エッチング等の
ハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCKとの
コンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。
また，メンテ性向上と騒音低減をはかり，全機種CE対応可能（オプション）としました。
http://www.ulvac.co.jp/

カテゴリーの一覧へ戻る